廊坊市航新仪器仪表有限公司

   加速度传感器其主要由差动电容传感器、检测质量摆组件、电磁力矩器、电子放大器几个大的部分组成。当沿敏感轴有加速度作用时微型加速度传感器，检测质量的位置发生变化，位置检测器检测这一变化，然后将信号输入放大器，放大器驱动力发生器，使检测质量恢复到零位。加速度计的输出是流过力发生器与输入加速度成比例的电流。石英加速度计主要分为石英挠性加速度计和石英振梁加速度计，都属于精度比较高加速度计。

   目前的加速度传感器有多种实现方式，主要可分为压电式、电容式及热感应式三种，这三种技术各有其优缺点加速度传感器厂家。以电容式3轴加速度计的技术原理为例。电容式加速度计能够感测不同方向的加速度或振动等运动状况。其主要为利用硅的机械性质设计出的可移动机构：由于加速度使得机械悬臂与两个电极之间的距离发生变化，从而改变了两个电容的参数。通过集成的开关电容放大电路量测电容参数的变化，形成了与加速度成正比的电压输出。因此3轴加速度传感器必然包含一个单纯的机械性MEMS传感器和一枚ASIC接口芯片两部分，前者内部有成群移动的电子，主要测量XY及Z轴的区域，后者则将电容值的变化转换为电压输出。

加速度传感器在振动和冲击测量中的应用石英扰性加速度传感器。

压电加速度传感器

压电加速度计是一种自发传感器，其输出电荷与感知加速度成比例。它具有精度高，频率响应宽，动态范围大，体积小，重量轻，寿命长，安装方便，稳定性好等特点。天然石英经适当切割后可用于形成敏感元件，但灵敏度低，成本高。

环剪式具有体积小，重量轻的特点。它适用于测量冲击或轻型和小型结构部件的振动。由于敏感元件与基座隔离良好，可有效避免基座弯曲和噪声的影响。该元素仅被剪切，降低了热电效应。

集成压电加速度计

集成电路压电加速度计的制造是微电子技术发展的结果。传感器外壳配有微电子信号调理电路，从而实现低阻抗输出，大输出信号，一对电缆和连接器。干扰信号非常不敏感，对各种环境因素不敏感。使用双线电缆或两根塑料绞合线可以同时提供电力和传输信号。长电缆不会降低灵敏度。它不会增加噪音，结构简单，成本低，性能提高。它特别适用于需要进行长距离测量的各种工程场所和场所。对于高灵敏度，它甚至可以直接连接到记录仪器，方便使用。

压阻式加速度计

新型压阻式加速度计的结构由单片硅晶体制成。它使用硅压阻式应变计作为敏感元件，它实际上是一个固定的硅电阻器，其电阻与其承受的机械应力成正比。

石英柔性加速度计用于载波微重力测量系统和惯性导航系统，可用于静态角度测量系统。 加速度传感器用于姿态测量和各种物体导航的。石英柔性加速度计用于加速度测量系统，用于空间受限的移动物体。

可变电容加速度计

可变电容加速度计是由另一物理原理制成的硅加速度计。与压阻式相比，它具有更高的灵敏度和抗环境振动和冲击性能。它对温度不敏感，稳定性好。 ，线性度高。加速度计应用领域的步进计数器功能仅是加速度计应用的一部分。加速度传感器在车辆安全和桥梁健康方面发挥着非常重要的作用。

这些年来随着惯导系统广泛的应用发展对其加速度计的精度要求、稳定要求不断提高有以下几点性能范围：

1、测量范围：-g~+g

2、阈值：10-5g~10-6g

3、线性度：10-2%~10-4%

4、偏值：10-3g~10-5g

因为惯性导航需要的精度要求很高所以对其加速度计的性能需要保持很好的特性，所以需要考虑温度的变化、仪表的机电参数和电子部件参数随时间变化、受到磁、辐射和其它干扰以及对象随线加速度和角加速度运动而出现误差的可能性。为了消除这些误差,除了优化仪表的结构和系统外,还要研究仪表的校正方法,建立误差模型以便在对象的数字计算机中进行算法补偿。

现在有很多不错的加速度计结构方案并生产使用，而惯导系统中主要采用有摆式积分陀螺加速度计、力平衡式加速度计、振弦加速度计、振梁加速度计和单晶硅微加工加速度计。

1、摆式积分陀螺加速度计：优点是刻度系数的长期稳定性好。

2、力平衡式加速度计:优点是它利用闭路系统的负反馈原理把检测质量悬浮在其结构的某一固定位置上，是应用广泛的一种。

3、振弦式加速度计:比力平衡式加速度计的抗辐射性能好,比摆式积分陀螺加速度计尺寸小、结构简单、价格便宜.

加速度传感器一般可分为压电式加速度传感器、压阻式加速度传感器、电容式加速度传感器和伺服式加速度传感器四种。加速度传感器是一种能够测量加速力的电子设备。加速力也就是当物体在加速过程中作用在物体上的力。加速度传感器有两种：一种是角加速度传感器，是由陀螺仪改进过来的。另一种就是加速度传感器。它也可以按测量轴分为单轴、双轴和三轴加速度传感器。加速度传感器将传统的压电加速度传感器与电荷放大器集于一体, 能直接与采集或记录仪器连接, 简化了测试系统, 提高了测试精度和可靠性, 同时具有低阻抗输出、抗干扰、噪声小、性价比高、安装方便等显著优点。